在全國(guó)人民抗擊新冠肺炎疫情的關(guān)鍵時(shí)期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。日前，該公司成功開發(fā)出了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的全套超高純鋁濺射靶基材生產(chǎn)工藝和技術(shù)，成為獨(dú)立于歐洲海德魯鋁業(yè)公司、日本住友化學(xué)體系公司外的第三條完整產(chǎn)業(yè)鏈。通過多方驗(yàn)證，產(chǎn)品全面符合市場(chǎng)要求，成功實(shí)現(xiàn)了批量供貨。

　　高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而興起的產(chǎn)業(yè)，因此，集成電路產(chǎn)業(yè)則是目前高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。半導(dǎo)體靶材作為制備集成電路的關(guān)鍵原材料，也是技術(shù)要求最高的靶材，因此人們也將半導(dǎo)體用靶材基材制備稱為材料制備工業(yè)王冠上的明珠。

　　長(zhǎng)期以來，雖然我國(guó)擁有鋁基生產(chǎn)濺射靶材所需的各種基礎(chǔ)礦源，但金屬提純技術(shù)卻主要由美國(guó)、日本、挪威、法國(guó)等國(guó)家掌握。國(guó)內(nèi)靶材廠商也僅僅只能通過國(guó)外進(jìn)口獲得高純金屬及基材供應(yīng)，每年進(jìn)口量達(dá)數(shù)千噸，價(jià)格較高且不能實(shí)現(xiàn)及時(shí)交貨。面對(duì)國(guó)外技術(shù)封鎖、國(guó)內(nèi)沒有相應(yīng)技術(shù)基礎(chǔ)的情況下，新疆眾和決定開啟超高純鋁濺射靶基材的研發(fā)之路。

　　新疆眾和作為我國(guó)鋁電子新材料研制企業(yè)，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模開發(fā)、生產(chǎn)高純鋁的企業(yè)，已經(jīng)積累了30余年的高純鋁研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。在新疆眾和針對(duì)超高純鋁濺射靶基材研發(fā)的10余年中，通過與集成電路相關(guān)企業(yè)承擔(dān)國(guó)家專項(xiàng)項(xiàng)目聯(lián)合研發(fā)，并建設(shè)超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規(guī)模生產(chǎn)過程中雜質(zhì)元素污染、產(chǎn)品表面質(zhì)量及內(nèi)部晶粒組織細(xì)化控制、氫含量必須小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終打通了超高純鋁濺射靶基材的工藝技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了鋁純度可達(dá)到99.9995%（5N5），成為國(guó)內(nèi)唯一一家可以規(guī)模生產(chǎn)超高純鋁濺射靶基材企業(yè)。

　　此外，新疆眾和與東北大學(xué)聯(lián)合申報(bào)的“潔凈、細(xì)晶5N5超高純鋁的制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目還榮獲了2019年中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。

資訊來源：中國(guó)有色金屬報(bào)

圖片來源：網(wǎng)絡(luò)

更新日期：2020-03-02

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